滬公網(wǎng)安備 31011502019128號(hào)
上海市2022年度“科技創(chuàng)新行動(dòng)計(jì)劃”集成電路領(lǐng)域項(xiàng)目申報(bào)指南的通知
滬科指南〔2022〕19號(hào)
各有關(guān)單位：
為深入實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略，加快建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心，根據(jù)《上海市建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心“十四五”規(guī)劃》，上海市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)特發(fā)布2022年度“科技創(chuàng)新行動(dòng)計(jì)劃”集成電路領(lǐng)域項(xiàng)目申報(bào)指南。
一、征集范圍
專(zhuān)題一、前沿技術(shù)研究
方向1：關(guān)鍵裝備零部件與材料
研究?jī)?nèi)容（1）：集成電路工藝檢測(cè)設(shè)備用超寬光譜光源研制
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費(fèi)額度：非定額資助，擬支持不超過(guò)1個(gè)項(xiàng)目，每項(xiàng)資助額度不超過(guò)500萬(wàn)元，企業(yè)自籌經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)的比例不低于2:1。
研究?jī)?nèi)容（2）：面向化合物半導(dǎo)體工藝的分子束外延設(shè)備核心部件研制
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費(fèi)額度：非定額資助，擬支持不超過(guò)1個(gè)項(xiàng)目，每項(xiàng)資助額度不超過(guò)500萬(wàn)元，企業(yè)自籌經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)的比例不低于2:1。
研究?jī)?nèi)容（3）：芯片先進(jìn)封裝用高導(dǎo)熱石墨烯強(qiáng)化界面散熱材料研發(fā)
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費(fèi)額度：非定額資助，擬支持不超過(guò)1個(gè)項(xiàng)目，每項(xiàng)資助額度不超過(guò)500萬(wàn)元，企業(yè)自籌經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)的比例不低于2:1。
專(zhuān)題二、顛覆性技術(shù)研究
方向1：新材料、新器件、新方法
研究?jī)?nèi)容（1）：并行探針陣列電子束光刻關(guān)鍵技術(shù)研究
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費(fèi)額度：非定額資助，擬支持不超過(guò)1個(gè)項(xiàng)目，每項(xiàng)資助額度不超過(guò)500萬(wàn)元，企業(yè)自籌經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)的比例不低于1:1。
研究?jī)?nèi)容（2）：基于有機(jī)無(wú)機(jī)雜化金屬氧化物的EUV光刻膠干法制備關(guān)鍵技術(shù)研究
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費(fèi)額度：非定額資助，擬支持不超過(guò)1個(gè)項(xiàng)目，每項(xiàng)資助額度不超過(guò)500萬(wàn)元，企業(yè)自籌經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)的比例不低于1:1。
研究?jī)?nèi)容（3）：叉板式（ForkSheet）場(chǎng)效應(yīng)晶體管關(guān)鍵技術(shù)研究
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費(fèi)額度：非定額資助，擬支持不超過(guò)1個(gè)項(xiàng)目，每項(xiàng)資助額度不超過(guò)500萬(wàn)元，企業(yè)自籌經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)的比例不低于1:1。
研究?jī)?nèi)容（4）：基于先進(jìn)CMOS工藝的新型SOI晶體管關(guān)鍵技術(shù)研究
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費(fèi)額度：非定額資助，擬支持不超過(guò)1個(gè)項(xiàng)目，每項(xiàng)資助額度不超過(guò)500萬(wàn)元，企業(yè)自籌經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)的比例不低于1:1。
研究?jī)?nèi)容（5）：新型柔性存算一體器件技術(shù)研究
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費(fèi)額度：非定額資助，擬支持不超過(guò)1個(gè)項(xiàng)目，每項(xiàng)資助額度不超過(guò)500萬(wàn)元，企業(yè)自籌經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)的比例不低于1:1。
研究?jī)?nèi)容（6）：面向適用于低功耗、高帶寬需求的多芯片集成技術(shù)研究
執(zhí)行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。
經(jīng)費(fèi)額度：非定額資助，擬支持不超過(guò)1個(gè)項(xiàng)目，每項(xiàng)資助額度不超過(guò)500萬(wàn)元，企業(yè)自籌經(jīng)費(fèi)與申請(qǐng)資助經(jīng)費(fèi)的比例不低于1:1。
二、申報(bào)要求
除滿足前述相應(yīng)條件外，還須遵循以下要求：
1.項(xiàng)目申報(bào)單位應(yīng)當(dāng)是注冊(cè)在本市的法人或非法人組織，具有組織項(xiàng)目實(shí)施的相應(yīng)能力。
2.研究?jī)?nèi)容已經(jīng)獲得財(cái)政資金支持的，不得重復(fù)申報(bào)。
3.所有申報(bào)單位和項(xiàng)目參與人應(yīng)遵守科研倫理準(zhǔn)則，遵守人類(lèi)遺傳資源管理相關(guān)法規(guī)和病原微生物實(shí)驗(yàn)室生物安全管理相關(guān)規(guī)定，符合科研誠(chéng)信管理要求。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人應(yīng)承諾所提交材料真實(shí)性，申報(bào)單位應(yīng)當(dāng)對(duì)申請(qǐng)人的申請(qǐng)資格負(fù)責(zé)，并對(duì)申請(qǐng)材料的真實(shí)性和完整性進(jìn)行審核，不得提交有涉密內(nèi)容的項(xiàng)目申請(qǐng)。
4.申報(bào)項(xiàng)目若提出回避專(zhuān)家申請(qǐng)的，須在提交項(xiàng)目可行性方案的同時(shí)，上傳由申報(bào)單位出具公函提出回避專(zhuān)家名單與理由。
5.已作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人承擔(dān)市科委科技計(jì)劃在研項(xiàng)目2項(xiàng)及以上者，不得作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人申報(bào)。
6.項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)預(yù)算編制應(yīng)當(dāng)真實(shí)、合理，符合市科委科技計(jì)劃項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)管理的有關(guān)要求。
三、申報(bào)方式
1.項(xiàng)目申報(bào)采用網(wǎng)上申報(bào)方式，無(wú)需送交紙質(zhì)材料。申請(qǐng)人通過(guò)“中國(guó)上海”門(mén)戶網(wǎng)站（http://www.sh.gov.cn）--政務(wù)服務(wù)--點(diǎn)擊“上海市財(cái)政科技投入信息管理平臺(tái)”進(jìn)入申報(bào)頁(yè)面，或者直接通過(guò)域名http://czkj.sheic.org.cn/進(jìn)入申報(bào)頁(yè)面：
【初次填寫(xiě)】使用“一網(wǎng)通辦”登錄（如尚未注冊(cè)賬號(hào)，請(qǐng)先轉(zhuǎn)入“一網(wǎng)通辦”注冊(cè)賬號(hào)頁(yè)面完成注冊(cè)），進(jìn)入申報(bào)指南頁(yè)面，點(diǎn)擊相應(yīng)的指南專(zhuān)題，進(jìn)行項(xiàng)目申報(bào)；
【繼續(xù)填寫(xiě)】使用“一網(wǎng)通辦”登錄后，繼續(xù)該項(xiàng)目的填報(bào)。
有關(guān)操作可參閱在線幫助。
2.項(xiàng)目網(wǎng)上填報(bào)起始時(shí)間為2022年7月5日9:00，截止時(shí)間（含申報(bào)單位網(wǎng)上審核提交）為2022年7月22日16:30。
四、評(píng)審方式
采用一輪通訊評(píng)審方式。
五、立項(xiàng)公示
上海市科委將向社會(huì)公示擬立項(xiàng)項(xiàng)目清單，接受公眾異議。
六、咨詢電話
服務(wù)熱線：021-12345、8008205114（座機(jī)）、4008205114（手機(jī)）
上海市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)
2022年6月27日
【原文下載】
關(guān)于發(fā)布上海市2022年度“科技創(chuàng)新行動(dòng)計(jì)劃”集成電路領(lǐng)域項(xiàng)目申報(bào)指南的通知.pdf